金属及合金镜面抛光:从高端不锈钢餐具、汽车轮毂到精密医疗器械,氧化铝抛光粉能有效去除表面缺陷,打造光亮如镜的表面效果,提升产品美观度与附加值。
光学元器件精密抛光:光学玻璃、蓝宝石玻璃(广泛应用于手机摄像头镜片、智能手表显示屏)等硬质光学材料,需依托氧化铝抛光粉这一高硬度磨料开展高效、无划痕的表面处理,保障透光率与成像质量。
精密陶瓷表面改性:在电子陶瓷、结构陶瓷的生产中,氧化铝抛光粉用于改善陶瓷烧结后的表面粗糙度,提升陶瓷的绝缘性、耐磨性与结合强度。
核心作用:在 300 毫米硅片加工与先进封装工艺中,高纯度、纳米级氧化铝抛光液(或含氧化铝磨料的复合抛光液)借助机械研磨与化学刻蚀的协同作用,对铜互连层、介质层等进行纳米级的 “微刻蚀” 与修正。
尖端优势:
纳米级表面粗糙度调控:可将硅片表面粗糙度(Sq)稳定控制在 0.15 纳米以下,满足 7 纳米、5 纳米乃至更先进制程节点的需求。高选择比:相较于传统二氧化硅抛光液,氧化铝基抛光液对铜互连层具备更高的去除选择比,能有效避免金属层过度抛光导致的电阻升高,同时实现对介质层的保护。硅通孔(TSV)加工:在硅通孔铜柱抛光中,通过调控氧化铝颗粒的 zeta 电位与抛光液 pH 值,可实现铜的高选择性去除,保障铜柱垂直度(<0.5°)与表面平整度(Ra<5 纳米),为芯片的高密度集成筑牢基础。核心难题:传统金刚石研磨虽硬度达标,却极易在蓝宝石表面引入亚表面裂纹与损伤,严重影响其机械强度与光学性能。
氧化铝专属黑科技解决方案:采用与蓝宝石同质的氧化铝(Al₂O₃)制备纳米级抛光粉进行研磨,可实现独特的 “自钝化” 效果。
原理:研磨过程中使用同质磨料,优化了化学反应活性与物理相容性,有效降低对蓝宝石基片的机械冲击与化学腐蚀。效果:搭配胶体二氧化硅进行终抛后,蓝宝石表面可实现原子级平整度(Ra<0.3 纳米),透光率提升至 99.8% 以上,且无任何亚表面损伤。这一点对于高端激光器用掺钕钇铝石榴石(Nd:YAG)晶体的端面抛光尤为重要,能大幅提升晶体的激光损伤阈值。精准把控:严格管控粒径分布(D50、D99)、颗粒形貌(球形度、表面光洁度)及杂质含量(铁、硅、钙等),确保每一次抛光工艺都精准、稳定、无瑕疵。
定制服务:可针对半导体 CMP、光学玻璃、蓝宝石、金属等不同应用领域,定制不同粒径、形貌、硬度的氧化铝抛光粉解决方案。
高纯度保障:产品纯度高、杂质含量极低,有效避免抛光过程中因杂质引入导致的表面缺陷或性能衰减。
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